（四）“而已”的词汇化
前面讨论“已”的语法化时，我们并没有将“已”和“而已”区分开来，因为在“已”虚化前和虚化过程中，单用的“已”和“而已”中的“已”功能是同一或者相近的，但是随着“已”语法化的深化和完成，这时的“已”和“而已”就体现出差异来了。单用的“已”一旦演变为语气词，它的演变过程就大致结束了；但是“而已”却不一样，在“已”语义一步步虚化，并逐渐语气词化的同时，“而已”还经历了一个词汇化过程。
当“已”是动词时，“而”是连词，“而已”是一个跨层非短语结构,也就是说“而”和“已”虽然句法位置紧邻，但是并不处于同一个句法单位，比如前面所举“忽然而已”。但是随着“已”动词性的减弱，“而”的连词功能也在相应减弱，因为语气词常置于句末，是不需要连词连接的。也就是说“已”语义的弱化，首先会导致连词“而”连接功能和语义的弱化；而两者语义的弱化一旦达到一定程度，接着边界就会开始模糊，结合逐渐紧密并融合（fusion）；最后“已”发展为语气词，“而”的连词功能也就消失了，这时的“而已”也就被重新分析为一个复合语气词。途径：“而＋已”（连词＋动词）→“而＋已”（连词＋语气词）→“而已”（复合语气词）。如：